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简答题什么是气相法，简述工艺流程。
  • 气相法是直接利用气体或者通过各种手段将物质变成气体，使之在气体状态下发生物理变化或化学反应，最后在冷却过程中凝聚长大形成粉体的方法。
    蒸发-凝聚法（PVD.：原料——高温气化——急冷——粉体。
    蒸发-凝聚法是将原料加热至高温（用电弧或等离子流等加热），使之气化，接着在电弧焰和等离子焰与冷却环境造成的较大温度梯度条件下急冷，凝聚成微粒状物料的方法。
    气相化学反应法（CVD.：金属化合物蒸气——化学反应——粉体。
    气相化学反应法是挥发性金属化合物的蒸气通过化学反应合成所需物质的方法。

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