叫离子注入。其特点是深度浅，而在使用中，注入元素仍能继续向里迁移。由于注

入时工件温度低，故不改变基体性能及表面粗糙度。注入时，注入能量及注入深度

能准确控制，注入层结合力强，无剥落现象。

叫离子注入。其特点是深度浅，而在使用中，注入元素仍能继续向里迁移。由于注

入时工件温度低，故不改变基体性能及表面粗糙度。注入时，注入能量及注入深度

能准确控制，注入层结合力强，无剥落现象。