试题详情
- 单项选择题在多晶硅薄膜制造装置中也可使用RTP，将得到的灯光用（）聚光，然后缓慢地移动位置，使多晶硅薄膜再结晶化。
A、凸透镜
B、凹透镜
C、聚光镜
D、平光镜
- C
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