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简答题简述多通道技术。
  • 磁力显微镜（MFM）和静电力显微镜（EFM）
    1、MFM和EFM分辨率
    1）MFM和EFM是长程力，水平分辨率随着抬高距离的增加而降低
    2）其分辨率通常受限制于抬高高度
    3）最低的抬高高度应小于表面的粗糙度
    4）MFM的极限分辨率为20nm
    5）MFM通常所能达到的分辨率为50nm
    扫描开尔文探针显微镜和扫描电容显微镜
    1、开尔文模式的矢量电荷光刻
    2、力谱模式：接触式力曲线、轻敲式力曲线
    3、纳米光刻：STM刻蚀、AFM电压刻蚀、AFM刮刻（接触）和AFM挖刻（轻敲）
    4、扫描探针光刻：在深纳米尺度范围内图像化的一种技术
    5、实用技术：原子操控、原子键断裂和纳米化学
    6、蘸水笔纳米光刻DPN（墨水与衬底有亲和作用）：直接写、模板操作
    7、影响DPN图形分辨率的因素：分辨率小于15nm的点阵图可以实现
    1）表面晶粒尺寸：尺寸越大吸附越好；
    2）表面化学吸附性能；
    3）探针驻留时间；
    4）环境湿度影响等。

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