试题详情
- 简答题分别写出刻蚀及去PSG的工艺控制流程？
- 刻蚀的流程：预抽，主抽，送气，辉光，清洗，预抽，主抽，充气
去PSG的流程：酸洗（HF），溢流水洗，喷淋，甩干 关注下方微信公众号，在线模考后查看
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