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简答题简述带电粒子核反应瞬发分析时,能谱分析法,共振核反应法测量深度分布时的深度分辨率。
  • 能谱分析法的典型深度分辨率为几十到几百nm量级
    共振核反应法典型深度分辨率为几到几十nm量级
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