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多项选择题下列有关曝光系统的说法正确的是()。

A、投影式同接触式相比,掩模版的利用率比较高

B、接触式的分辨率优于接近式

C、接近式的分辨率受到衍射的影响

D、投影式曝光系统中不会产生衍射现象

E、投影式曝光是目前采用的主要曝光系统

  • A,B,C,E
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