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多项选择题材料蒸发时，充氧的主要目的有哪些？（）

A、补充材料失去的氧原子，使材料氧化更充分，降低膜层吸收

B、使每次镀膜时，真空室内的真空状态相接近

C、使蒸发更稳定

D、使控制更精确

  • A,B

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