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- 简答题低压化学气相沉积有哪些优点？
- 优点：1.晶体生长或成膜的质量好
2.沉积温度低，便于控制
3.可使沉积衬底的表面积扩大，提高沉积效率。
化学式：Fe3O4+8HCl=FeCl2+2FeCl3+4H2O 关注下方微信公众号，在线模考后查看
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