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简答题膜盒式电容气压传感器的结构原理？
  • 膜盒式电容气压传感器的感应元件为真空膜盒。
    当大气压力产生变化时，使真空膜盒（包括金属膜盒和单晶硅膜盒）的弹性膜片产生形变而引起其电容量的改变。通过测量电容量来计算本站气压。

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