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简答题试简述电容式传感器的工作原理及分类？
  • 物体间的电容量与其结构参数有关，通过改变结构参数而改变物体间的电容量来实现对被测量的检测，就是电容式传感器的工作原理。
    物体间的电容量与构成电容元件的两个极板的形状、大小、相互位置以及极板间的介电常数有关，即：C=f（ε，S，δ），电容式传感器可通过改变介电常数ε，两极板相互覆盖的面积S和极板间的距离δ来改变电容量C而实现测量。所以电容式传感器可分为变间隙、变面积和变介质三类。

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