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简答题RH法的主要工艺参数有哪些?
  • RH法的主要工艺参数有:处理容量,处理时间,循环因素,循环流量,真空度和抽气能力等,这些参数的正确选定,对合理设计真空室和取得满意的处理效果有重要意义。
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