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简答题电感耦合等离子体光源主要由（）等三部分组成，此光源具（）等优点。
  • 高频发生器、等离子炬管、雾化器；稳定性好、基体效应小、线性范围宽、检出限低、应用范围广、自吸效应小、准确度高

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