试题详情
简答题采取什么措施可以提高近表面缺陷的检测能力?
  • 提高近表面缺陷的探测能力应从下面三方面着手:
    ①用TR探头;
    ②使用窄脉冲宽频带探头;
    ③提高探头频率,减小晶片尺寸
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