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简答题简述旋涂稳定的控制。
  • （1）、尽量少开旋涂室的门，控制温湿度；
    （2）、旋涂室的温度应对外部环境略高些，基本为30℃。湿度为30%；
    （3）、各离子风机的状态；
    （4）、各旋涂碗的安装下染料针头是否清洁；
    （5）、各机械手的位置、染料泵、真空泵的工作状态等；
    （6）、白片及OD的测量（基本为2小时测一次，特殊情况除外）；
    （7）、各抽风供风系统是否良好运行。

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