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简答题XPS能谱图中峰的半峰宽由哪三个因素决定？各因素的本质是什么？
  • ΔE=[（ΔX）2+（ΔEL）2+（ΔEA）2]1/2
    式中，ΔE—谱峰的半峰宽；ΔEX—幅射源X射线的本征宽度；ΔEL—电子能级的自然宽度，由被测物质的结构所决定；ΔEA—能量分析器所产估的误差半峰宽。

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