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简答题简述电容式传感器的原理及应用。
  • 原理:电容C=εA/d,当被测量变化引起示中介电常数ε,正对面积A,极板间距d的变化时电容C也相应变化,如果保持其中两个参数不变,而改变一个参数,就可以把该参数的变化转变成电容量的变化,通过测量电路就可以转换为电量输出。
    应用:电容式压力传感器,电容式加速度传感器。差动式电容测厚传感器。
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