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简答题简述ICP炬管的结构及其气路。
  • 炬管是维持ICP稳定放电的关键部件。一般常采用的炬管是三重管式石英炬管。其外管内径多采用18mm，外管有10~20L/min的氩通过，此为冷却气，起维持等离子体和冷却石英管的作用。通过中间管的气体称辅助气（又称等离子气），被流经线圈的高频电流所激发。供分析的气溶胶由氩气输送到中心管，称为载气。

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