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简答题离子束加工原理
  • 离子源产生的离子经过电场加速和聚焦，获得一定速度投射到材料表面，产生溅射效应或注入效应。对于工件的不同要求，离子束加工可分为以下四类：A.离子刻蚀；B.离子溅射沉积；C.离子镀；D.离子注入。

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