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简答题磷源更换操作流程是什么？泄露应该怎么处理？
  • 源瓶更换的标准操作过程依次关闭进气阀门、出气阀门，拔出连接管道，更换源瓶，连接管道，打开出气阀门、进气阀门。液态源外溢了，要立即擦拭干净，并暂停工艺运行，仔细检查源瓶是否有破损。
    对泄漏物处理必须戴好防毒面具和手套。液体泄漏用沙土混和，倒至大量水中以稀释。沾染皮肤时，要先用纸、棉花将液体吸去，然后再用清水冲至少15分钟。如用水过少，会在皮肤形成磷酸引起灼伤，按酸灼伤处理。

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