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简答题简述太阳能电池片制造PECVD的目的及原理？
  • 目的：在太阳电池表面沉积深蓝色减反膜-SiN膜。
    P.ECVD技术原理：是利用低温等离子体作能量源，样品置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电（或另加发热体）使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一系列化学反应和等离子体反应，在样品表面形成固态薄膜。

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