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简答题简述CVD技术的热动力学原理——热力学
  • 化学气相沉积是把含有构成薄膜元素的气态反应剂的蒸汽及反应所需其它气体引入反应室，在衬底表面发生化学反应，并把固体产物沉积到表面生成薄膜的过程。 不同物质状态的边界层对CVD沉积至关重要。

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