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简答题试述精密和超精密加工现在包括哪些领域？
  • 精密和超精密加工目前包含三个领域：
    1、超精密切削，如超精密金刚石刀具切削，可加工各种镜面。它成功地解决了高精度陀螺仪，激光反射镜和某些大型反射镜的加工。
    2、精密和超精密磨削研磨。例如解决了大规模集成电路基片的加工和高精度硬磁盘等的加工。
    3、精密特种加工。如电子束，离子束加工。使超大规模集成电路线宽达到0.1μm。

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