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简答题工艺参数是一个范围,做工艺验证时,要覆盖整个参数范围还是参数范围中的一个点(通常是中值)。(TZ-138)
  • 确切点讲,应在研发阶段确立设计空间,工艺验证过程中,只要在设计空间以内,均可认可。但为了挑战苛刻条件,不一定取中间值,而是要取有挑战意义的工艺条件,温度、压力、时间等等,要用这种思维方式去考虑验证方案。
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