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简答题简述电容式传感器的分类和各自的特点。 
  • ①变极距型电容传感器, 一般变极板间距离电容式传感器的起始电容在20~100pF之间,极板间距离在25~200m的范围内。最大位移应小于间距的1/10,故在微位移测量中应用最广。
    ②变面积型电容式传感器,能够进行力、位移和转角的测量。
    ③变介质型电容式传感器,变介质型电容传感器有较多的结构形式,可以用来测量纸张、绝缘薄膜等的厚度,也可用来测量粮食、纺织品、木材或煤等非导电固体介质的湿度。
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