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简答题电子束加工的特点
  • 1）可实现极其微细的聚焦，可实现亚微米和毫微米级的精密微细加工；2）电子束加工主要靠瞬时热效应，工件不受机械力作用，不产生宏观应力和变形；3）加工材料范围广；4）加工效率高；5）真空加工无污染，加工表面不易氧化；6）成套设备价格昂贵。

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