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简答题电子束加工的特点
  • 1)可实现极其微细的聚焦,可实现亚微米和毫微米级的精密微细加工;2)电子束加工主要靠瞬时热效应,工件不受机械力作用,不产生宏观应力和变形;3)加工材料范围广;4)加工效率高;5)真空加工无污染,加工表面不易氧化;6)成套设备价格昂贵。
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