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简答题电容传感器分为变间距型、变面积型和变介电常数型三种形式,比较这三种传感器测位移时的量程、灵敏度、线性度。
  • 变间距型电容传感器的量程小,灵敏度高,输入被测量与输出电容之间的关系为非线性:变面积型和变介电常数型量程大,灵敏度低,传感器的输入被测量与输出电容之间的关系为线性。
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