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简答题简述热壁LCVD装置
  • LPCVD反应器本身是以退火后的石英所构成,环绕石英制炉管外围的是一组用来对炉管进行加热的装置,因为分为三个部分,所以称为“三区加热器”。气体通常从炉管的前端,与距离炉门不远处,送入炉管内(当然也有其他不同的设计方法)。被沉积的基片,则置于同样以石英所制成的晶舟上,并随着晶舟,放入炉管的适当位置,以便进行沉积。采用直立插片增加了硅片容量对薄膜均匀性没有影响。
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