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简答题MOCVD
  • 即金属有机化合物化学气相淀积，是在气相外延生长（VPE.的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术，以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和Ⅴ族、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种Ⅲ-Ⅴ族、Ⅱ-Ⅵ化合物半导体以及他们的多元固溶体的薄层单晶材料。

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