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简答题简述集成式智能传感器的结构和特点。
  • 集成式智能传感器是将一个或多个敏感元件与微处理器、信号处理电路集成在同一芯片上,结构一般为三维器件。这种传感器的智能化程度是随着集成化程度提高而不断提高的。
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