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简答题试述循环泵的启动步骤?
  • 确认吸附塔排气已结束,循环泵公共吸入口阀处于打开状态;手动打开泵送、压送循环控制阀至20%;对循环泵进行排气;启动泵送循环泵,确认A塔压差<0.2MPa,然后再启动压送循环泵,确认B塔压差<0.2MPa;确认吸附塔压差相近;关闭循环泵公共吸入口阀门,并将泵送和压送循环控制器投入自动。
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