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简答题边缘刻蚀冷热探针的工作原理?
  • 热探针和N型半导体接触时,传导电子将流向温度较低的区域,使得热探针处电子缺少,因而其电势相对于同一材料上的室温触点而言将是正的。同样道理,P型半导体热探针触点相对于室温触点而言将是负的。此电势差可以用简单的微伏表测量。
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