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简答题硅谐振式传感器是怎样工作的？
  • 硅谐振式传感器利用在一块单晶硅芯片上一个在硅片中央，一个在硅片边缘的两个H型谐振梁在被测压力作用下，一个受压，一个受拉，使其原固有谐振频率发生不同的变化，利用测量两个谐振梁的频率差来得到被测压力的大小。

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