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简答题影响等离子体温度的因素有哪些？
  • （1）载气流量：流量增大，中心部位温度下降。
    （2）载气的压力：激发温度随载气压力的降低而增加。
    （3）频率和输入功率：激发温度随功率增大而增高，近似线性关系，在其它条件相同时，增加频率，放电温度降低。
    （4）第三元素的影响：引入低电离电位的释放剂（如T1）的等离子体，电子温度将增加。

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