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简答题旋转阀离座,循环泵共吸阀打开以后,吸附室底控制器PIC-6003应处自动还是手动?
  • 旋转阀离座,循环泵共吸阀打开以后,吸附室底控制器PIC-6003应处自动,用抽余液控制吸附室压力,使吸附室压力不小于0.88MPa。
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