大规模集成电路的微细制作方法有（），（），（），（），（）。_睦霖题库

简答题大规模集成电路的微细制作方法有（），（），（），（），（）。

正确答案：延生长技术；氧化；光刻；选择扩散；真空镀膜
答案解析：
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