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简答题论述俄歇电子产额与探针电子能量级的关系。为什么有如此关系？
  • （1）当探针电子能量<4Eth时，在离表面10nm厚度内，离子的密度大。随着纵向的深入，离子的密度迅速下降。主要会产生表面层的多次电离。
    （2）当探针电子能量>4Eth后，在离表面10nm厚度内，离子的密度变小。而且离子的密度沿纵向变为恒定值。
    （3）当探针电子能量>16Eth后，纵向向前的散射率增大，大角度散射可忽略不计，所以纵向各处的离子的密度呈均匀分布。

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