试题详情
- 单项选择题下列方程式中属于二氧化硅刻蚀工艺的是（）。
A、4HF+Si=SiF4+2H2↑
B、CF4+SiO2——→SiF4+CO2↑
C、CF4+SiO2+O2——→SiF4+CO2↑
D、SiO2+4HF——→SiF4+2H2O
- D
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