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简答题气相沉积
  • 气相沉积是利用气相中发生的物理、化学过程改变表面成分,在工件(模具)表面形成具有特殊性能的金属或化合物涂层的一种新技术,它包括化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)。
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