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简答题物理气相沉积？
  • 物理气相沉积，是指在真空的条件下，利用物理的方法，将材料气化成原子、分子或者使其电离成离子，并通过气相过程，在材料或者基体表面沉积一层具有某些特殊性能的薄膜技术。方法有： 真空蒸镀、溅射镀膜、离子镀膜。

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