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简答题什么叫化学气相沉积?
  • 化学气相沉积,是在一定的温度下,混合气体之间或者混合气体与基体表面之间相互作用,在基体表面形成金属或火鹤舞等固态膜或镀层,使材料表面改性,以满足耐磨、抗氧化、抗腐蚀以及特定的化学、光学和摩擦学等特殊性能要求的一种技术。
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