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简答题气相法可分为哪些?
  • (1)物理气相沉积,用物理凝聚的方法将多晶原料经过气相转化为单晶体,如升华-凝结法、分子束外延法和阴极溅射法;
    (2)化学气相沉积,通过化学过程将多晶原料经过气相转化为单晶体,如化学传输法、气体分解法、气体合成法和MOCVD法等。
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