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简答题简述辉光离子炉的构造。
  • 辉光离子炉是利用稀薄渗氮气体的辉光放电现象来进行渗氮处理的设备。炉子的全套装置有:
    (1)真空系统:主要有钟罩形炉体、炉底盘和真空泵所组成;
    (2)供气系统:氨瓶、干燥过滤、分子筛,排气通过冒泡瓶溶解未分解的氨,以净化环境;
    (3)供电系统:采用晶闸管连续可调的直流电源供电,并有灭弧装置;
    (4)测温系统:热电偶的测温端通过炉底盘直接与零件接触,一般采用铠装热电偶。
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