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简答题何为MEMS工艺？
  • MEMS是微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文缩写。以光刻、外延、薄膜淀积、氧化、扩散、注入、溅射、蒸镀、刻蚀、划片和封装等为基本工艺步骤来制造复杂三维形体的微加工技术。

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