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简答题磁栅式传感器的误差是哪些因素引起的?可应用于哪些场合?
  • 磁栅传感器的误差分析:
    零位误差是由以下因素造成的:
    1)磁栅的节距不均匀造成的零位误差;
    2)磁栅的安装与变形误差;
    3)磁栅剩磁变化所引起的零点漂移;
    4)外界磁场干扰。
    细分误差是由以下因素造成的:
    1)由于磁膜不均匀或录制过程不完善造成磁栅上信号幅度不相等;
    2)两个磁头在空间位置偏离正交较远;
    3)两个磁头参数不对称引起的误差;
    4)磁场高次谐波分量和感应电势高次谐波分量的应用。
    应用:
    1)可以作为高精度测量长度和角度的测量仪器。由于可以采用激光定位录磁,而不需要采用感光、腐蚀等工艺,因为可以得到较高的精度,目前可以做到系统精度为0.01mm/m,分辨率可达1~5pm。
    2)可以作为自动控制系统中的检测元件(线位移)。例如在三坐标测量机、程控数控机床及高精度重、中型机床控制系统中的测量装置,均得到了应用。
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