试题详情
- 简答题什么叫离子刻蚀？它的主要作用是什么？
- 在10-3Pa的氩气中将生成的Ar+加速至500~1000eV，轰击样品表面，这个过程称为〝离子刻蚀〞。离子刻蚀可清洁样品表面和将表面层剥离掉，可进行纵向分析。
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