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简答题等离子体及ICP炬
  • 近代物理学中,把电离度(α)大于0.1 %、其正负电荷相等的电离气体称为等离子体;ICP炬是指高频电能通过电感(感应线圈)耦合到等离子体所得到的外观上类似火焰的高频放电光源。
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