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简答题简述电容式传感器的工作原理。根据工作原理,电容式传感器可分为哪几种类型?
  • 两平行极板组成的电容器,如果不考虑边缘效应,其电容量为C=εS/δ。 当被测量的变换使δ(电容极板间距)、S(电容极板有效面积)或ε(电容极板间介质的介电常数)任一参数发生变化时,电容量C也就随之变化,这就是电容式传感器的工作原理。电容式传感器分为三类:变极距(或变间隙型)、变面积型和变介电常数型。
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