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简答题试述电容式传感器的工作原理与分类。
  • 以平板电容传感器为例,说明电容式传感器的工作原理与分类。平板电容器的电容量C=εS/d,由该式不难看出,当改变极板间隙d、极板间介电常数ε或两极板的重叠面积S时,都可以改变电容量C。因此,只要保持d 、S、ε中任何两个参量为定值,即可建立C与第三个参量的单一函数关系,测量C的变化,即可知道该参量的变化,这就是电容式传感器的工作原理。根据以上分析,电容式传感器可分为ε、S为定值的变隙式;S 、d为定值的变介电常数式和ε 、d为定值的变面积式。
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