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简答题简述X-射线能谱（EDS）的定义及提高分辨率的方法。
  • X-射线光谱：确定化学元素当前形式，利用物质特征的X-射线指纹。
    提高分辨率的方法：
    1）通过使用不同种类的细丝来减小光斑尺寸；
    2）使用最合适的加速电压；更高的电压产生短波长电子，具有更高的分辨率，但是也会增加电子体积/样本相互作用，导致较低分辨率；
    3）改变倾斜角度；
    4）使用高电流电子束；
    5）缩短工作距离；
    6）使用二次电子图像，作为最合适的分辨率是：SE是5nm，BSE是25nm，X-射线图谱是2um；
    7）较长的曝光时间，使得更多的电子束可以被检测。

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